VTS

 真空流量計算に関する資料

   ・基礎
           Knudsenの式及び、コンダクタンスとガス流量の関係 (PDF 21KB)
           ヘリウムリークディテクタにおけるキャリブレーション(校正)とは (PDF 17KB)

 

   ・流量計算 
           粘性流⇒分子流換算 (PDF 21KB)
           漏れ穴径近似値と粘性流 (PDF 27KB)

 

   ・換算表
           冷媒リーク1g/年⇒He流量換算表 (PDF 38KB)  
           ※He試験時のHe充填圧力と冷媒ガスの実使用時圧力が異なる場合は別途圧力換算が必要となります。

 

 


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